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上海光刻版欢迎来电 光刻版

发布者:苏州优版光电有限公司2020-11-15






公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服务!

什么是光刻掩模板


 在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性-的一种结构,称为光刻掩模版。

  半导体集成电路制作过程通常需要经过多次光刻工艺,在半导体晶体表面的介质层上开凿各种掺杂窗口、电极接触孔或在导电层上刻蚀金属互连图形。光刻工艺需要一整套几块多至十几块相互间能套准的、具有特定几何图形的光复印掩蔽模版。







一种具有保护环的光刻板,包括光刻板本体和设置在光刻板本体外圈的保护环,所述保护环紧密围在光刻板本体的外部边缘处并将内部的光刻板本体围起,所述保护环上具有圆型开孔、直角型开孔与直线型开孔,所述直角型开孔设置在光刻板本体的转角处,所述直线型开孔设置在光刻板本体的水平边缘与竖直边缘,所述圆型开孔设置在直角型开孔与直线型开孔的连接处。其图形结构可通过制版工艺加工获得,常用加工设备为直写式光刻设备,如激光直写光刻机、电子束光刻机等。







光刻机的结构和工作原理:

  光刻机的光源有:激光,紫外光、深紫外光、极紫外光。现在-技术是极紫外光。

  下图是以激光为光源的光刻机简易工作原理图:

  在制造芯片时,首先在晶圆硅晶片表面涂光感胶,再用光线透过掩模版相当于芯片电路图纸的底片照射硅片表面,被光线照射到的光感胶会发生反应。此后用特定溶剂洗去被照射或者未被照射的胶,电路图就印到硅片上。

  此过程相当于木匠施工用墨斗放样、划线。

  硅片上有了电路图的图样后,就轮到刻蚀机登场,刻蚀机相当于木匠的锯子、斧头、凿子、刨子。刻蚀机按图施工,在硅片表面雕刻出晶体管和电路。









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