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苏州优版光电有限公司
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公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服务!
掩膜板是光刻图形的基准和蓝本,掩膜板上:的任何缺陷都会对终图形精度产生-的影响。所以掩膜板必须保持“完关”。
使用掩膜板存在许多损伤来源:掩膜板掉铬:表面擦伤,需要轻拿轻放:静电放电(esd),在掩膜板夹子.上需要连一根导线到金属桌面,将产生的静电导出。由于图形数据准备是掩膜版加工中的关键步骤,要求用户对所提交的版图文件仔细核对,-图形正确性。另外,不能用手触摸掩膜板:灰尘颗粒,在掩膜板盒打开的情况下,不准进出掩膜板室(mask room),在存取掩膜板时室内保持2人。
尺寸涨缩原因分析
胶片在光绘前没有经过预置
由于胶片制造时无法预先控制胶片中的湿度与每个生产车间的湿度一致,因此使用之前应先使其与工作环境达到平衡的状况。建议预置时间为12小时,预置时必须打开胶片的内包装,使其与外界的空气充分接触。
掩膜版是制作掩膜图形的理想感光-板,通过-过程,这些图形的信息将被传递到芯片上,用来制造芯片。
由于图形数据准备是掩膜版加工中的关键步骤,要求用户对所提交的版图文件仔细核对,-图形正确性。光掩膜有掩膜原版(reticlemask,也有称为中间掩膜,reticle作为单位译为光栅),用步进机重复将比例缩小到mastermaks上,应用到实际-中的为工作掩膜(workingmask),工作掩膜由mastermask复i制过来。以下将对用户较为关心的版图绘制问题作出具体说明。光掩模板或者光罩,-过程中的原始图形的载体,通过-过程,这些图形的信息将被传递到芯片上。制造芯片时用.
机显时还要注意以下几点:要定期维护显影机,以-已-的ps版显影能正常进行。在显影之前必须保持各传动辊清洁,若牵引辊不干净,显影时印版易粘上脏点。凹版网点由于制版方式的不同,版辊上所反映的网点也有所差别:电雕雕刻网点随着网成的变化,网点的大小和-也跟随着变化。如显影机有涂胶装置,一定注意胶辊要保持清洁,否则要弄脏印版。一般情况下,阳图ps版显影液(原液)的显影能力为10m2/l。上保护胶时,一定要均匀施胶,不能太厚,以免干后导致涂层龟裂和掉版。
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